مكونات فراغ درجة حرارة عالية
تشمل المعالجة الحرارية بشكل أساسي عمليات الأكسدة والانتشار والتليين.الأكسدة هي عملية مضافة يتم فيها وضع رقائق السيليكون في فرن عالي الحرارة ويضاف الأكسجين ليتفاعل معها لتكوين السيليكا على سطح الرقاقة.الانتشار هو نقل المواد من منطقة التركيز العالي إلى منطقة التركيز المنخفض من خلال الحركة الحرارية الجزيئية، ويمكن استخدام عملية الانتشار لتخدير مواد المنشطات المحددة في ركيزة السيليكون، وبالتالي تغيير موصلية أشباه الموصلات.
